商品の詳細
本の説明ですAmazonよりリアライズ理工センター1999/7/28発売475ページ定価52000円LSIの微細化が進む中, 汚染の低減は半導体製造の最大課題の一つであり, その解決には多くの努力が必要になってきた。このためにはシリコンウェーハなどの材料, 製造, または検査設備, ファシリティなど供給系にも汚染の低減が要求され, デバイスメーカと供給メーカが協力して低減に向かわなければならないが, 汚染に対する仕様はデバイスメーカ, またはその技術者によりまちまちで供給メーカの設計をどうするか困惑している状況である。このような状況ではデバイスメーカ間で共通の仕様を提示することが経済的にLSIを製造するポイントであるが, 現状ではデバイスメーカも見解が定まらない状況にある。 このようなことからデバイスメーカが汚染をどのように考えているか, 実際の問題は何か, 汚染の許容量・仕様をどうするかという調査が本書のテーマである。この調査は計4回の汚染シリーズセミナーとそのときのパネルディスカッションで行ったが, 実際にはいくつかのグループで議論し, できるだけ共通の問題と捉えて検討を行った。この調査を通してわかったことはデバイスメーカでも完全な情報をもっているわけではなく, このような調査やセミナーを通して議論をまとめていくことが重要であることである。 本書はパーティクル汚染, 金属汚染, 化学汚染に分け, 調査結果からいくつかの質問をその分野の専門家に投げかけ, 解答となる論文などを掲載した。元来, 供給側の技術者にLSI製造の実態を理解してもらうために作成した書籍であるが, デバイスメーカも他の技術者の考えを理解することが重要である。 本書は汚染に関する理解の共有化(一致化)の第一歩であり, 様々な意見を付加して少しづつ認識が一致することを望んでいる。LSI製造, プロセスに関わる多くの技術者に一読いただき, 多くの意見を集結でき, 経済的に優れた材料, 設備等が得られればこの上もない幸せである。
カテゴリー: | 本・音楽・ゲーム>>>本>>>健康/医学 |
---|---|
商品の状態: | 目立った傷や汚れなし |
配送料の負担: | 送料込み(出品者負担) |
配送の方法: | 佐川急便/日本郵便 |
発送元の地域: | 埼玉県 |
発送までの日数: | 2~3日で発送 |
商品の説明

ULSIにおける汚染の実態 本 初版 Realize リアライズ 理工センター-

ULSIにおける汚染の実態 本 初版 Realize リアライズ 理工センター-

REALIZE Science & Engineering

LSI工学 システムLSIの設計と製造 | 小谷 教彦, 西村 正 |本 | 通販

Microbubble detection and separation by using patterned ultrasound
最新のクチコミ
とても可愛い絵本で気に入りました。 内容も良かったです!
- ネモユ
- 32歳
- アトピー
- クチコミ投稿 1件
購入品
商品届いていませんが、対応の悪さにがっかりです。 予約商品、予約で購入するより発売になってから購入した方がお届け日時が早いのはどういうことでしょうか?24日に予約してまだ商品とどきません。28日に注文したら30日に届くとなっていました。 楽しみにしていた本、本の購入は違うお店でしようと思いました。
- ラブサン子
- 40歳
- アトピー
- クチコミ投稿 1件
購入品
「しんぱいごむよう!」おにぎりの着脱を楽しみながら、食育もできる?2歳児が喜んで見ています。
- 1230868
- 28歳
- アトピー
- クチコミ投稿 1件
購入品
「しんぱいごむよう!」バナナたちが可愛い。2歳児が喜んで見ています。
- kennedy2
- 36歳
- アトピー
- クチコミ投稿 1件
購入品
健康/医学
-
-
1
ウジ ヘンガレ トレカ
K-POP/アジア
¥8,499
-
2
内科救急診療指針2022 裁断なし
健康/医学
¥7,820
-
5
カリモクソファ
健康/医学
¥237,600
-